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高純鉻靶的目標雜質控制

時間:2021-04-16瀏覽數:1618

高純鉻靶的目標雜質控制:如果靶中的夾雜物數量過多,則在濺射過程中可能在晶片上形成顆粒,從而導致互連線短路或斷開,這將嚴重影響膜的性能。高純鉻靶中的大多數夾雜物是在冶煉和鑄造過程中形成的,主要由氧化物組成,但也包括氮化物,碳化物,氫化物,硫化物,硅化物等,因此應在冶煉和鑄造過程中使用。坩堝,內部 流道,鑄模等由還原性材料制成,在澆鑄之前,應將熔體表面的氧化物和其他爐渣徹底清除。 通常,它們在真空或無氧環境中熔融并澆鑄。鉻靶批發、鉻靶價格在市場也是不一樣的。


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