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硼靶材:現(xiàn)代科技中的關(guān)鍵材料
在半導(dǎo)體、光伏、顯示面板等行業(yè)中,硼靶材是一種不可或缺的功能性材料。
它的主要用途是在物理氣相沉積(PVD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝中,通過濺射或蒸發(fā)的方式在基板上形成薄膜,從而賦予材料特定的電學(xué)、光學(xué)或機(jī)械性能。
硼靶材的制備工藝直接影響其性能。
高純度硼粉經(jīng)過壓制、燒結(jié)等工序制成靶材,其致密度、晶粒尺寸和雜質(zhì)含量都會影響濺射薄膜的質(zhì)量。
為了提高濺射效率,靶材通常需要具備高密度、低孔隙率以及良好的導(dǎo)電性。
此外,硼靶材的均勻性也至關(guān)重要,否則可能導(dǎo)致薄膜厚度不均,影響較終產(chǎn)品的性能。
在實際應(yīng)用中,硼靶材的優(yōu)勢在于其高熔點(diǎn)、良好的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性,使其適用于高溫或腐蝕性環(huán)境下的薄膜沉積。
然而,硼靶材的脆性較高,加工難度較大,因此在運(yùn)輸和使用過程中需要格外小心,避免因機(jī)械應(yīng)力導(dǎo)致開裂。
隨著新型顯示技術(shù)、半導(dǎo)體器件的不斷發(fā)展,硼靶材的市場需求持續(xù)增長。
未來,通過優(yōu)化制備工藝,提高靶材的純度和均勻性,硼靶材的應(yīng)用范圍將進(jìn)一步擴(kuò)大,成為更多高科技領(lǐng)域的核心材料之一。
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